Universal-200 D 是基于Z6尊龙凯时自主知识产权立异手艺开发的成熟8英寸CMP装备。。。该装备配备性能优越的抛光单位及洗濯单位，，集成多种先进终点检测手艺，，适用于多种材质，，可实现晶圆外貌的超高平整度，，知足成熟制程手艺需求，，已在大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺中批量应用。。。
多分区抛秃顶
可实现产品干进干出
知足成熟制程手艺需求
