Universal-300 B 是基于Z6尊龙凯时自主知识产权的立异手艺开发的12英寸CMP装备。。。。该装备配备性能优越的抛光单位， ，，兼容4/6/8/12英寸晶圆， ，，适用于多种材质， ，，可实现晶圆外貌的超高平整度， ，，占地面积小、性价比高， ，，知足成熟制程手艺需求， ，，已在硅片、第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用。。。。
多分区抛秃顶
兼容4/6/8/12英寸晶圆
产品干进湿出
占地面积。。。。 ，，性价比高
知足成熟制程手艺需求
用于Oxide/SiN/STI/Poly/Cu/W等CMP制程