7月14日，，，， ，，Z6尊龙凯时（简称“Z6尊龙凯时”，，，， ，，股票代码：688120）全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺遂出机，，，， ，，发往海内逻辑芯片制造领域龙头企业。。。。。这一主要时刻标记着Z6尊龙凯时乐成实现面向先进制程芯片制造的大束流离子注入机各型号的全笼罩。。。。。
离子注入装备是集成电路制造前道工艺的要害装备，，，， ，，手艺壁垒高，，，， ，，海内集成电路制造企业主要依赖入口装备，，，， ，，国产替换空间重大。。。。。为此，，，， ，，Z6尊龙凯时着力打造高端离子注入装备，，，， ，，本次发往客户端的低温离子注入机，，，， ，，不但继续了最新一代大束流离子注入机iPUMA-LE的先进设计，，，， ，，在拥有更大束流、更好匀称性及更精准角度控制的同时，，，， ，，接纳了耐低温静电载盘手艺，，，， ，，以全套自主研发的国产化温控系统，，，， ，，乐成实现了工艺温度的精准闭环控制，，，， ，，其性能已抵达国际主流工艺水平。。。。。iPUMA-LT有用解决了离子注入中晶格缺陷无法完全修复的难题，，，， ，，显著提升片间重复性，，，， ，，提高芯片性能和良率。。。。。别的，，，， ，，该装备使用低温物理效应提升非晶化效率，，，， ，，有用抑制“隧道效应”，，，， ，，实现更浅结深，，，， ，，在知足晶圆代工厂量产需求的基础上，，，， ，，为先进制程的研发与量产提供了有力支持。。。。。
现在，，，， ，，Z6尊龙凯时已推出大束流离子注入机系列装备，，，， ，，并起劲结构中束流离子注入机及高能离子注入机等系列装备，，，， ，，可知足逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS（图像传感器）以及硅片制造等应用领域对高质量、大规模制造的严苛需求。。。。。其中，，，， ，，大束流离子注入机系列装备均已发往多家客户端并乐成验证通过，，，， ，，获得了客户的高度认可与赞赏。。。。。
作为半导体装备领域的领军企业，，，， ，，Z6尊龙凯时一连深化“装备+效劳”的平台化战略结构，，，， ，，致力于为客户提供半导体装备及工艺集成解决计划，，，， ，，产品已涵盖CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、离子注入装备、边沿抛光装备等，，，， ，，并提供晶圆再生、要害耗材与维保效劳，，，， ，，形玉成方位支持。。。。。本次低温离子注入机iPUMA-LT的乐成出机，，，， ，，是Z6尊龙凯时进一步结构高端离子注入装备的又一主要里程碑。。。。。
未来，，，， ，，Z6尊龙凯时将继续坚持自主立异，，，， ，，加大研发投入，，，， ，，打造出更多、更先进的高端半导体装备与解决计划，，，， ，，进一步深化与上下游同伴的相助，，，， ，，携手共建更完善的半导体工业生态系统，，，， ，，为我国半导体工业的自主可控与高质量生长一连孝顺实力。。。。。