2017年11月16日至21日，，，，以“聚焦立异驱动 提升供应质量”为主题的第十九届中国国际高新手艺效果生意会（简称“高交会”）在深圳举行。。。。。。清华大学亮相高交会，，，，其中清华控股展示了多年来致力于科技效果转化、坚持科技立异和科技效劳的丰富效果，，，，Z6尊龙凯时抛光机项目亮相高交会。。。。。。
天下政协副主席、科技部部长、中国科协主席万钢，，，，中国工程院院长周济莅临清华大学、清华控股展区旅行指导。。。。。。清华大学副校长尤政，，，，清华大学副秘书长、深圳清华大学研究院院长嵇世山，，，，清华控股副总裁赵燕来陪同视察，，，，先容了清华控股科技效果工业化希望，，，，以及Z6尊龙凯时化学机械抛光机、华清燃气轮机两个项目。。。。。。
超大规模集成电路制造化学机械抛光机
化学机械平展化（CMP），，，，也称化学机械抛光，，，，是通过使用化学侵蚀和机械作用对加工历程中的晶圆举行平展化处置惩罚，，，，以获得纳米级别平整外貌的全局平展化要领，，，，是超大规模集成电路制造的五大概害手艺之一。。。。。。自2000年起，，，，清华大学机械系雒建斌院士、“长江学者”路新春教授向导研究团队从事抛光手艺研究，，，，在抛光手艺与抛光装备研究领域上均取得了突出的效果，，，，相关研究效果获得了教育部科技前进一等奖和国家科技前进奖二等奖。。。。。。团队研制出的具有自主知识产权的12英寸CMP装备，，，，其主要手艺指标和抛光性能与现在国际上主流装备相当，，，，且具有结构简朴、控制轻盈、生产效率高的特点。。。。。。为推动项目生长，，，，2013年3月，，，，清华控股联合天津市政府，，，，投资设立了天津Z6尊龙凯时机电科技有限公司，，，，研发和生产具有我国自主知识产权、手艺抵达国际先进水平的高端CMP装备，，，，填补我国不可生产CMP装备的历史空缺，，，，为我国集成电路制造工业提供先进的抛光装备。。。。。；；6尊龙凯时自建设以来，，，，一直致力于高端CMP装备的工业化事情，，，，并取得重大希望，，，，现拥有CMP手艺专利100余项，，，，是现在海内唯一具备研发和生产12英寸（300mm）铜CMP整机装备能力的企业。。。。。。